在加工微小精密零件时，必须充分考虑到可能使装配系统产生定位误差的因素，控制装配系统的定位精度。

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此外，当前获得复杂微小精密零件的超精密加工方法主要有两种，一种是微机电系统技术(MEMS)，另外一种是从传统机械制造技术发展而来的微细制造技术。
无论采用哪种技术，都需要先进的测量装置及方法，因为零件加工精度的提高对测量水平的提高具有严格的依赖性。
微小精密零件在结构形式、构件材料和加工工艺等方面具有以下特点：
构成材料主要是金属、合金或者复合材料等非硅材料，这些材料具有优秀的机械特性，如高强度、高硬度、耐磨损、抗过载、耐高温或耐腐蚀等，能在恶劣工况条件下正常工作。
微小精密零件广泛存在于各种微小型系统，包括框架、壁、腔体、轴、槽、轮、孔系等多种结构形式，市场需求量大。
指整体尺度在毫米级，很难利用常规方法加工的小型零件。
以准三维或三维的立体结构为主的结构形式，深宽比高或长径比大。
结构复杂，空间紧凑，各个部件之间存在确定的连接、传动或装配关系，对形状和位置的精度要求非常高，对于零件表面的精密度要求较低，不一定要纳入纳米级别。